| Descripción |
Los Sistemas Micro-Electro-Mecánicos (MEMS), se constituyen en su forma más general, aquellos elementos mecánicos y electromecánicos miniaturizados que se diseñan haciendo uso de técnicas de micro-fabricación, similares a las utilizadas en procesos de fabricación de circuitos integrados a muy alta escala de integración (VLSI). Las dimensiones físicas típicas de los dispositivos MEMS, pueden variar de uno a cientos de micras. Por otra parte, los tipos de dispositivos MEMS reportados en la literat |