| Descripción |
Los sistemas Microelectromecánicos (MEMS) constituyen una tecnología de microdispositivos innovadores, desarrollados mediante la integración de elementos mecánicos y elementos de circuito, generalmente en substratos de silicio, haciendo uso tecnologías de micro-fabricación como las que se emplean en procesos de fabricación de circuitos integrados a muy alta escala de integración (VLSI). Durante el año 2014, en el marco del proyecto SIP 20141505, se logró diseñar y fabricar una celda de prueba (c |