| Descripción |
Los sistemas Microelectromecánicos (MEMS) constituyen una tecnología de microdispositivos de vanguardia, diseñados y desarrollados mediante la integración de elementos mecánicos y elementos de circuito, generalmente en substratos de silicio, haciendo uso tecnologías de micro-fabricación como las que se emplean en procesos de fabricación de circuitos integrados a muy alta escala de integración (VLSI). Durante el año 2015, en el marco del proyecto SIP 20150568, se desarrolló un banco de pruebas pa |