| Autores |
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| Báez Medina Héctor |
| Título | Room Temperature Plasma Oxidation: A New Process for Preparation of Ultrathin Layers of Silicon Oxide, and High Dielectric Constant Materials. |
| Tipo | Revista |
| Sub-tipo | Indefinido |
| Descripción | Thin Solid Films, Elsevier |
| Resumen | |
| Observaciones | |
| Lugar | |
| País | |
| No. de páginas | 546-554 |
| Vol. / Cap. | 496 (2) |
| Inicio | 2006-01-01 |
| Fin | 2005-11-30 |
| ISBN/ISSN |